株式会社ブルー・スターR&D本社
最終更新日:2015-12-08 09:34:52.0
株式会社デンソー殿との共同シンポジューム発表レジメ
基本情報株式会社デンソー殿との共同シンポジューム発表レジメ
株式会社デンソー殿との名古屋市工業研究所でのシンポジューム共同発表内容です。
当社は、デンソー殿の協力により、新しい考え方の次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発、2016年1月より販売を開始します。
高性能メタルマスク超音波洗浄装置
すます高密度化する基盤の需要に対応するためメタルマスクも、レーザーマスク,エッチングマスク,アディティブマスクの3種類とも 高微細加工、高密度化しております。そのため 従来のシャワー洗浄を主体にした洗浄では、厳しい洗浄レベルに 対応できなくなってきました。そこで、当社は、真空前処理型超音波洗浄装置MARSと、液晶APR版洗浄装置の 両者の豊富な経験に 基ずき、大手自動車部品メーカーデンソーの指導のもとに、次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発、製造販売しています。 (詳細を見る)
取扱会社 株式会社デンソー殿との共同シンポジューム発表レジメ
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