マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー外付型の
有磁場型マイクロ波励起ラジカル源

【特徴】
○プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認可能
○完全金属シール構造により、MBE装置など
　各種超高真空装置に使用可能
○ラジカル源用途以外に加速用高圧電源（オプション）の
　使用によりイオン加速が可能
○各種活性ガスの導入が可能
○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されるため
　面倒な導波管接続が不要

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。