マイクロ波イオン源　EMIS-221C

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

ラミック放電管タイプで
チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源

【特徴】
○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる
○プラズマ室は高純度アルミナ製で
　金属汚染の少ないイオンが得られる
○完全金属シール構造により、MBE装置など
　各種超高真空装置に使用可能
○加速用高圧電源（オプション）の使用により、イオン加速が可能
　（ラジカル源、プラズマ源としての使用も可能）
○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されるため
　面倒な導波管接続が不要
○シーケンサやパソコンによる外部制御が可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。