マイクロ波イオン・ラジカル源　IMIS-211Q

マイクロ波イオン・ラジカル源　IMIS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー内突き出し型の
有磁場型マイクロ波励起イオン・ラジカル源

【特徴】
○プラズマ室は石英製で、金属汚染の少ないイオン・ラジカルが得られる
○特殊なアンテナ構造、磁気回路のため漏洩磁場が少ない
○完全金属シール構造により
　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能
○取付が容易な空冷式
○加速用高圧電源（オプション）の使用により
　イオン加速が可能。ラジカル源としても使用可能
○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されるため
　面倒な導波管接続が不要

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。