超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて
使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源

【特徴】
○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能
○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現
○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全
○完全空冷式で冷却水は不要
○各種活性ガスの使用が可能
○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されているため
　面倒な導波管接続が不要
○イグナイター搭載により、放電がしやすい
○プラズマ源本体の重量はわずか1.9kgの軽量設計

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。