RFプラズマ源　ERFS-500

RFプラズマ源　ERFS-500

無電極放電により
金属コンタミの少ないプロセスが可能なRFプラズマ源

【特徴】
○光学窓付きにより放電が目視確認できる
○石英製窓により高精度のプラズマ分光等が可能
○自動マッチング機構により
　操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。
○空冷仕様になっており冷却水の心配がなく
　既設装置等へ気軽に取り付けられる
○活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え
　かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることが可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。