簡易型XY機構　SXYシリーズ

簡易型XY機構　SXYシリーズ

トランスファーロッドの位置調整用に最適な
チルト調整機構を組み合わせた、簡易型XY機構

【特徴】
○オールメタルシールによりベーキング可能
○コンフラットフランジ仕様により
　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能
○φ70CF〜φ203CFまで対応可能
○4本のロッドを調整することにより、チルト調整が可能
○トランスファーロッド、回転導入機
　直線導入機等と組み合わせることにより
　真空内への多軸運動伝達が経済的に行える

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。