ヴァリアス株式会社　製品カタログ

ヴァリアス社製の「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」は、
多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載。
処理能力に対応した自動搬送型で、剥離液にはリークの無い配管を使用。
ポンプもシールレス採用しています。

【特徴】
○溶剤により防爆仕様対応
○超音波は各メーカー、周波数に対応
○装置内はFFU搭載も可能

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ヴァリアス社製の「自動洗浄装置」は、さまざまな洗浄、乾燥方式を選択可能。
多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載しています。
処理能力に対応した自動搬送型です。

【特徴】
○溶剤により防爆仕様対応
○超音波は各メーカー、周波数に対応
○装置内はFFU搭載も可能

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「クローズド純水洗浄装置」は、洗浄機からの排水を再生し、再利用する洗浄機です。
排水量は最小限。原水使用量、排水処理費用を削減します。

【特徴】
○イオン交換樹脂、活性炭の入れ替え対応可能
○イオン交換樹脂の再生も対応可能

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ヴァリアスでは半導体向け「CMP処理後スクラブ洗浄装置」を
ご要望に応じて設計製作いたします。
また、ご依頼に柔軟性をもって装置製作以外にも対応します。
お気軽にご相談ください。

【特徴】
○パルスJET洗浄
○リンス洗浄
○高速スピン乾燥

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ヴァリアス社製の「手動洗浄装置」は、さまざまな洗浄、
乾燥方法選択が可能です。揺動、エレベータ付きにも対応。
後付け、自動搬送取付けも可能です。

【特徴】
○溶剤により、防爆仕様対応
○超音波は各メーカー、周波数に対応

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ヴァリアス社製の「JET-RINCER-DRYER」は、処理アーム多種選択可能です。
高圧JET、パルスJET、リンス、N2ブロー、薬液塗布に対応。
お客様のご要望に対応した装置を設計製作します。

【特徴】
○各処理工程、レシピ入力、選択処理
○処理能力に対応した自動搬送型も対応可能

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ヴァリアス社製の「IPA-VAPOR-DRYER」は、最終洗浄・乾燥に最適な洗浄機。
乾燥機単体、装置組み込み選択が可能です。
危険物I.P.Aに防爆仕様、静電機対策を施しています。
その他、ご要望に対応した装置を設計製作いたします。

【特徴】
○最終洗浄・乾燥に最適
○石英ガラス仕様
○SUS316L電解研磨仕様

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ヴァリアス社製の「ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機」は、
揺動、エレベータ付きに対応（モーター、シリンダ式）。
下限で超音波洗浄(水切り)、中間で蒸気洗浄、上限で乾燥処理をします。
オプションには専用チラーユニットをご用意。
ご要望に対応した装置を設計製作します。

【特徴】
○溶剤により防爆仕様対応
○超音波は各メーカー、周波数に対応

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ヴァリアス社製の「フープ洗浄装置」は、
フープ材プレス機と巻き取り機の間で洗浄から乾燥を行います。
オプションにて蒸留再生器の搭載が可能。
1台の蒸留器で多数戦場機分配制御もできます。

【特徴】
○多種、多列、フープに対応
○炭化水素形溶剤に対応の防爆仕様

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ヴァリアス社製の「ブラシ洗浄機」は、多種サイズ、形状に対応。
ロールブラシ、ディスクブラシ多種材質選択可能です。
また、リンス洗浄、スリット超音波、2流体ノズル搭載できます。

【特徴】
○熱風式、ヒーター(ランプ)式乾燥選択可
○前後工程との連結も可能

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「エッチングドラフト」は、外装PVCランニング仕様の洗浄機です。
各薬液に対応したタンク、配管PFA溶着配管、曲げ加工にも対応可能。
また、薬液調合内蔵可能です。ご要望に対応した装置を設計製作します。

【特徴】
○薬液調合内蔵可能
○処理能力に対応した自動搬送型も対応

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当製品は、ヴァリアス社製のGMR、MR HEAD用のメッキ装置。
パーマロイ、コイル、バンプメッキ等に対応しています。
メッキ槽は、精密温度制御、ろ過循環、スキージー駆動、電源制御。
ローダー、アンローダー、WETストック可能です。

【特徴】
○薬液に対応した配管、槽、外装（PVC、PP、PVDF、PFA、PTFE）
○リンス洗浄（DIP、シャワー）
○専用治具、電極製作

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ヴァリアス社製の「スピンドライヤースピン洗浄機」は、
洗浄から乾燥までを一台で行えます。
用途によりレシピ選択が可能で、また、溶剤により防爆仕様に対応します。
各ワークに対応するサイズをご用意しています。

【特徴】
○エアシリンダによる自動開閉フタ
○各種安全対策
○専用カセット製作

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ヴァリアス社製の「卓上型エアーブロー」は、
電動シリンダにてブローノズルX,Y駆動。
ピンポイントブローにて、無駄がありません。
御要望に対応した装置を設計製作します。
お気軽にお問合せください。

【特徴】
○各ワークに対応するサイズ、動作
○CV搬送式も対応可能

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ヴァリアス社製の「薬液供給装置」は、さまざまな薬液、濃度、液量、圧力に対応。
また、小型装置組み込み型から屋外大型設置型まで対応可能です。
各金属配管、樹脂（接着・溶着・溶接）配管施工など、薬液に対応した
配管、機器を選定しているので安心してお使いいただけます。

【特徴】
○秤量、調合、濃度、PH、温度等、管理可能
○ろ過循環、撹拌、定量供給機能等、搭載可能
○安全対策各種対応

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ろ過装置「純水装置」のご紹介です。
ヴァリアスでは洗浄装置・自動搬送装置・薬液供給装置の設計・製作・販売を行っています。
何かお困りのことがありましたら一度ご連絡ください。
お客様のご依頼に柔軟性をもって装置製作以外にも対応します。

【特徴】
○イオン交換樹脂は再生も対応可能
○イオン交換樹脂、活性炭の入れ替えの対応可能

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「MCOS-PRS-A01」は、プレス下死点位置を自動調整するコントローラです。
プレス下死点位置を自動制御することにより、無人で精度の高い安定した製品の製作が可能になります。
経時変化等による下死点位置のズレ量を、プレス主軸モータ用インバータの制御により、プレス下死点位置を自動調整いたします。
複数のプレス下死点制御コントローラをシステム管理用パソコンにて管理することが可能です。

【特徴】
○下死点絶対値追従システム
○試し打ち、稼働中の微調整が最小限に
○コストダウン用コントローラー

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当社は、主に産業用（半導体やセラミック）の洗浄装置・自動搬送装置・薬液供給装置の
設計・製作・販売を行っているメーカーです。

お客様のご要望に応じたオーダーメイドの装置にも対応しており、
お客様が考えた仕様に加え、ノウハウを活かしたモノづくりを行っています。

最近では医療用分野の洗浄装置のクリーンルームも新設し、よりお客様のご要望に合わせた洗浄装置のご提案も行っております。

【弊社の強み】
■半導体向け洗浄装置で培った高い洗浄技術力
■オーダーメイド製造で積み上げた設計力
■設計から加工、完成まで自社での一貫体制が可能

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）