アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー
最終更新日：2023-02-14 14:20:03.0
スーパータル
基本情報スーパータル
スーパータル
半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール
■□特徴□■
■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール
■小スペースに大容量の出力が可能
■精密な温度制御が可能
■タイプ：SWR
■直径（インチ）：4・5・6・8・10
■設置：縦もしくは横置き
■最高発熱体温度：1600度
■出力：0.9W〜5.6ｋW
■詳細は、お問い合わせ下さい。
スーパータル シングルウェハーリアクター
従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。
（詳細を見る）
取扱会社 スーパータル
1931年創業以来、電気抵抗加熱ヒーターのソリューションを提供しております。 ヒーターのご提供のみならず、新たな商品の共同開発、技術サポート、最適なソリューションのご提案等を通じ、熱に関して多面的にお客様をサポートしております。 □低温域-1100℃ （カンタル線、ニクロム線） □中温域-1400℃ （炭化珪素発熱体（SiC)） □高温域-1850℃ （カンタルスーパー（MoSi2)） のほぼすべての温度領域をカバーしており、これらの商品をベースに、様々なヒーティングシステムをご提供いたします。
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