株式会社昭和サイエンス ロゴ株式会社昭和サイエンス

最終更新日:2019-02-19 16:38:25.0

  •  

露光装置『マニュアルマスクアライナ』

基本情報露光装置『マニュアルマスクアライナ』

半導体をはじめ、多方面への応用可能。等倍露光によりパターン形成を行う

昭和サイエンスの『マニュアルマスクアライナ』は、ワークに上に
形成したフォトレジスト等に、所定のパターンを有するフォトマスクを用い、
等倍露光によりパターン形成を行う装置となります。

マスク上に配置されたアライメントマークと、ワーク上に形成されたアライ
メントマークとを 顕微鏡により観察しながら、手動によりXYθステージを操
作してアライメントを行います。

【特長】
■最適な光学系との組み合わせにより、アライメント作業が容易
■シリコン・ガラス・フィルムなどの様々な材質、不定形サイズの基板等にも対応可能
■アライメント顕微鏡の対物レンズは高アライメントや膜厚などの用途に応じ、対応可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱会社 露光装置『マニュアルマスクアライナ』

株式会社昭和サイエンス

●除振装置(アクティブ・パッシブ)の設計、製造、販売 ●精密光学機器の販売 ●防振工事(輪転機・立体駐車場等)MAFF工法の設計、施工

露光装置『マニュアルマスクアライナ』へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須

ご要望必須


  • あと文字入力できます。

目的必須

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社昭和サイエンス


成功事例