株式会社サクラクレパスPI事業部
最終更新日：2024-01-18 10:33:33.0
PLAZMARKから “ウエハ型”セラミックタイプを新発売！
基本情報PLAZMARKから “ウエハ型”セラミックタイプを新発売！
描画材料で培った、サクラクレパス独自の色彩技術を応用
プラズマインジケータPLAZMARKは、プラズマの処理効果を可視化する評価ツールとして、2014年の発
売以来、お客さまの用途に応じて商品ラインナップを拡充して参りました。この度、ご要望の多かったウエハプ
ロセス向け商品の第1弾として、PLAZMARK“ウエハ型”セラミックタイプを発売します。ウエハ型インジケー
タは、電子デバイスのエッチングやアッシングなど、ウエハプロセスの面内分布等の評価にご使用いただけます。
【特徴】
■高い耐熱性（400℃）を実現
■面内分布の評価も簡単
詳しくはカタログをダウンロード下さい。
プラズマ処理効果を「色で見える化」！セラミックタイプ
プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、
お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。
このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として
『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！
電子デバイスのエッチングやアッシングなど、
ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。
【特長】
■高い耐熱性(400℃)を実現
■クリーン設計でLEDやMEMSなどの工程に好適
■基板はシリコン・サファイアの2種類をご用意
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）
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