【漫画で分かる！】ハイパワーUV-LED照射器ALE/1_半導体検査装置編

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。
最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。
高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を 10msec まで短縮できます。
水銀不使用！従来のランプからの置換えをご検討の方は、お問い合わせください。

■使用用途
・半導体フォトリソグラフィー
・３Dプリンティング
・UV硬化 （詳細を見る）

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。
最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。
また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

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従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。
システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。
また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。

水銀ランプ1000W,500Wと、ALE/1Ctとの出力比較は
カタログをご覧ください。 （詳細を見る）

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。
最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。
また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

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ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを複数搭載可能なのでI線もしくはG線のみを高強度で出力することが可能となっています。LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。
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