フルオートUV照射機

フルオートUV照射機

ブラックライト仕様フルオートＵＶ照射機は、カセットにより供給されたウエハーフレームを自動で取り出し、ＵＶ照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。
８インチ、１２インチのウエハーフレームに自動段取り替えにて対応します。