ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で
高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。

ウエハー、FPDの大型化に対応します。
組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。

さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの
高速排気によりタクトタイムを短縮します。

溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。

【特長】
■ハードプロセス向け
■ウエハー、FPDの大型化に対応
■タクトタイムの短縮

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。