マイクロマニピュレータ／プローバーシャトル／サブステージ 総合カタログ

「MM3A-LMP」「MM3A-LS」は、既存の光学顕微鏡やマイクロスコープに後付けできます。
マニピュレータ本体は非常に小型で、マグネット固定で顕微鏡ステージに乗せられます。M4ネジ固定に変更することも可能で、用途に応じた取付けが出来ます。簡単に着脱できるため、装置を占有することはありません。
広い動作範囲と非常に細かい動作分解能(サブナノ)を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えながら操作することで、低倍率～高倍率での使用が可能です。顕微鏡画像をライブ観察しながら、自在にマニピュレータを制御できます。 （詳細を見る）

マイクロマニピュレータ「MM3A-EM」は、SEM / FIB装置に更なる付加価値をもたらします。「観る」ことが主体の顕微鏡に、「測る」「操る」といった機能を与え、顕微鏡をミクロの作業場として利用することが可能になります。
● サブナノ動作分解能 + 広い動作範囲
● コンパクト・シンプルな設計
● 優れた安定性
● フレキシブルな取付け
● プローブ機能 （詳細を見る）

Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。

ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。

LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲（最大30cm）と非常に細かい動作分解能（最小0.25nm）を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード（分解能）を切換えながら操作します。LTシリーズのラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって区別されます。 （詳細を見る）

ProberSHUTTLE（PS）は、SEM式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。
PS本体は既存の汎用SEM試料交換室経由で試料室内に導入されます。PSのプラットホーム上には最新のマニピュレータ（3軸）が最大4台まで配置され、SEM像をライブ観察しながら自在に制御できます。
ピエゾ駆動による最小動作分解能は0.25nm、プローブTip径(R)は最小30nmです。観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えることで、低倍率〜高倍率での使用が可能です。
ナノチューブやトランジスタなどナノ試料のマニピュレーションから電気特性評価まで行えます。

● SEM式ナノプロービングに特化
● ロードロック式SEM対応
● コンパクトサイズ
● 高い拡張性 （詳細を見る）