完全自動化ダイシング装置『7220シリーズ』

開発から量産へ！効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性アップ！

『7220シリーズ』は、難しいダイシングで求められる生産性と品質に合致する
高度な自動化とプロセス監視機構を広く提供する省スペースな完全自動化装置です。

効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや
ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。

専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、
タッチパネルディスプレーで操作性にも優れています。

【特長】
■効率的なウエハ運搬装置による流れ作業
■連続的なデジタル画像拡大装置で迅速正確な位置合わせ
■ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮
■噴霧式ウエハ洗浄技術ですばらしいプロセスの成績を残す
■組込み済みの検査トレーでプロセス中の品質評価を実施

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。