林純薬工業株式会社電子材料部
最終更新日：2022-02-08 14:22:22.0
AlダメージレスSiエッチング液（異方性）「Pure Etch 160、SI151」
基本情報AlダメージレスSiエッチング液（異方性）「Pure Etch 160、SI151」
Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 平滑なエッチング面の形成が可能です。
・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。
・ エッチング液の劣化が少ないです。
・ 前処理液として、Pure Etch ZE series（ Alダメージレス絶縁膜エッチング液）の使用を推奨します。
キーワード：ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング
AlダメージレスSiエッチング液（異方性）
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 平滑なエッチング面の形成が可能です。
・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。
・ エッチング液の劣化が少ないです。
・ 前処理液として、Pure Etch ZE series（ Alダメージレス絶縁膜エッチング液）の使用を推奨します。
キーワード：ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング （詳細を見る）
取扱会社 AlダメージレスSiエッチング液（異方性）「Pure Etch 160、SI151」
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