『GLANZOX』

より高い平坦性、ダメージフリー、重金属汚染フリーなど完全鏡面の要求にお応え！

『GLANZOX』は、コロイダルシリカを特殊組成液に分散させ
優れた研磨面の実現を可能にしました。

近年、デバイス特性に影響する金属不純物についても厳しい低減要求が
なされています。これに対し超高純度コロイダルシリカを開発。

ウェーファー端面を鏡面に仕上げる専用のポリシング材
「GLANZOX Eシリーズ」などをご用意しております。

【特長】
■コロイダルシリカを特殊組成液に分散
■優れた研磨面の実現を可能に
■超高純度コロイダルシリカを開発
■次元の高いポリシング材をご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。