MSE試験装置カタログ

当装置は「物理エッチング（粒子エロージョン）部」と「エロージョン形状計測部」で構成されています。
試料表面から精密エロージョンし、その深さ計測を繰り返し連続取得することで、強さ比較・強さの断面分布、
層毎の厚さや強さ、面内の強弱分布などが評価できます。

これまでに測ることが難しかった材料表面において、短時間で多くの情報が得られます。

成膜プロセス違いの膜強さを比較したり、深さごとの劣化度を可視化したりと微細な違いを数値化することができ、
社内での開発の方向性を決めるのに役立ちます。

また、粒子エロージョン法は対象の形状が平面でなく曲面や複雑形状物においても試験可能です。
実際の部品等をそのまま試験することができます。 （詳細を見る）