高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』

プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定。

『VR300DSE-2P』は、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロール
システムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、
シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの
四探針測定器です。

また当社では、全機能搭載モデルの「VR300DSE」や、卓上型モデル
「VR300DE」「VR250」などもご用意しております。

【特長】
■プローブ駆動をレシピにてセットアップ可能
■高スループット化によるCoOの低減
■2ロードポート対応
■プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載
■抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。