【製品カタログ】非接触式 表面粗さ・３D形状測定機（コンフォーカル(共焦点)顕微鏡）『MarSurf CM シリーズ』

＜粗さ、輪郭、形状、体積、平面度他の測定に＞
ポータブル型 粗さ測定機『MarSurf CM mobile コンフォーカル顕微鏡』
コンパクトサイズながら、わずか数秒で測定室と同等の高解像度3Dデータを取得

<特長・導入メリット>
『ポータブル型で持ち運びが容易』
　●大型のワークや移動できない測定物もその場で手軽に測定
　●カットサンプルの用意が不要で、製品の形状を保持
　●セッティングにかかる手間・時間を大幅に削減
『高速・高精度』
　●ナノ単位の3Dデータの取得が最短7秒
　●鏡面仕上げのワークの測定や、全数検査もスピーディー
　●振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応

＜実績例＞
※粗さ、輪郭、形状、体積、平面度他
　●半導体製造用 CMPパッド（粒子測定）
　●車体などの塗装面　●タイヤ　●アスファルト表面
　●金属ローラー　●シートメタル
　●印刷用ロール

■ PDFダウンロードより測定事例／資料進呈 ■ デモ・サンプル測定実施中(オンライン可)◆ （詳細を見る）

大型の測定物、移動が困難なワークの測定でお困りではありませんか？

➡モバイル型のコンフォーカル顕微鏡『MarSurf CM mobile』なら、
　サンプルを切り出すことなく、直置きで高精度な表面測定が可能です。


■可能性は無限大■
例えば、車体などの塗装面、アスファルト表面、金属ローラー、シートメタル…。
動かせない測定物や大型のワークに直置きして測定します。

➡サンプルの準備から測定までにかかっていた時間と手間を大幅に削減。
　製造現場で手軽に負担なく、高速・高精度な測定が可能です。


●本体重量わずか5kg
　コンパクトサイズながら、
　わずか数秒で測定室と同様の高解像度3Dデータを取得します。

●様々な用途に対応
　粗さ、輪郭、形状、体積、平面度 他

●従来比 約７倍の測定スピード
　コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）を採用。
　従来の共焦点顕微鏡の約７倍の速さで測定。

●接触式測定法と99％の相関性
　アメリカ国立標準技術研究所（NIST）規格SRM2460による測定結果より、
　接触式と当機種の測定結果の相関性＝99％ （詳細を見る）

『MarSurf CM シリーズ』は、標準規格に準拠した測定システムと
ソフトウェアを実装しているコンフォーカル顕微鏡です。

コンフォーカル技術による高解像度3Dデータから、より多くの表面形状の
情報と処理方法が得られます。

高速画像取得技術により、わずか数秒のうちに高解像度3Dデータを取得。
また、安定した機械構造を持ち、外部環境に影響されない測定が可能です。

【特長】
■多彩なラインアップ
■高速測定（従来比約7倍の測定スピード）
■様々な用途に対応
■接触式測定法と99％の相関性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
 （詳細を見る）

・多彩なラインナップ
卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプなど、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。
・高速測定（従来比約７倍の測定スピード）
コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）の採用により、従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。
・様々な用途に対応
粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造ラインでの欠陥検出など様々な用途に使用頂けます。
・接触式測定法と99％の相関性
アメリカ国立標準技術研究所（NIST）規格SRM2460による測定結果より、接触式と当機種の測定結果は99％という最も高い相関性を示しました。

※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。 （詳細を見る）

オンラインでのサンプル測定を承っております。

　■ Web上でサンプル測定の様子を共有しながらの質疑応答

　■ 専任担当者による測定補助＆アドバイス

　■ 最適なソリューションのご提案


実際の測定機とワークのサンプルを用いて、測定課題を解決します。

　１. サンプルをお送り頂き、お悩みの点・測定のポイントをご相談下さい。

　２. 事前に最適なソリューションを検討し、
　　　オンラインデモ当日が有意義なお時間となるよう御準備致します。

　３. オンラインで測定の様子を共有しながら、
　　　測定方法に関する様々な疑問・質問にお答えします。

　４. お客様個別の課題の解決案を探り、
　　　専任担当者が最適なソリューションをご提案します。

ーーー
　●試してみたい測定機がある
　●現在ご使用の測定機では解決できない課題がある
　●測定結果が一定しない
　●望ましい数値が出ない
　●全数検査を行いたいが今の測定時間では難しい
　●複雑な形状のワークの測定
　●光学式／接触式どちらも試したい
　●買い替えで他の測定機も試してみたい
ーーー （詳細を見る）

マール・ジャパン『測定デモルーム』では、サンプル測定を承っております。

弊社専任担当者と一緒に多様なアプリケーションをお試し頂けます。
　■各種測定機をラインナップ
　■専任担当者による測定補助＆アドバイス
　■最適なソリューションのご提案

お客様独自の測定課題の解決に、
グローバルで信頼を得ているドイツMahr社製の測定機と、
専任担当者がご協力させて頂きます。

例えば：
●現在ご使用の測定機では解決できない課題がある
●測定結果が一定しない
●望ましい数値が出ない
●全数検査を行いたいが今の測定時間では難しい
●複雑な形状のワークの測定
●光学式／接触式どちらも試したい
●買い替えで他の測定機も試してみたい

実際の測定機とワークのサンプルを用いる事で、
測定課題へのソリューションをご提案させて頂きます。

是非サンプルをお送り頂き、
お悩みの点・測定のポイントをご相談下さい。
事前に解決方法を考え、
デモ当日が有意義なお時間となるように御準備してお迎え致します。
 （詳細を見る）

＼エレクトロニクス・半導体 2023春 最新版 測定事例進呈中！／
『MarSurf CP/CL』は、往復移動時の双方向スキャンによって測定スピードを高めた非接触タイプの三次元表面形状測定機です。
『CP』は 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能。ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応します。
『CL』は高速ラインセンサを搭載。0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で100×100mmサイズを約1分という短時間で測定できます。
【特長】
■表面粗さ・輪郭・真直度・断面積・平坦度・体積などの測定に対応
■グラナイト製のベースを採用し、大型で重いワークにも対応　
■全自動測定でスキルに依存しない高速測定が可能(CP)　
■微小な傷の検出や極小部位の測定に好適(CL)

『MarSurf CM mmobile』は、動かせない／大型ワークの粗さ・形状測定に好適なポータブル型で持ち運びが容易かつ、高精度な測定機です。
■２nmの高分解能
■ナノ単位3Dデータを最短7秒で取得
■振動環境下／鏡面仕上げにも対応 （詳細を見る）

【OPIE’23にて製品紹介予定！ @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】

＜光学産業のアプリケーション例＞
■マイクロレンズアレイの幾何形状
■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定
　→ 測定時間：1レンズに付き4秒
　→測定物設置後は全自動測定＆全自動評価
■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS）

＜特長＞
◆粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、
　輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出
◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒
◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定
◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応 （詳細を見る）