窒化アルミニウムの平滑化 加工事例

脱粒を生じさせない窒化アルミニウムの研磨技術！

熱伝導性に優れ半導体製造の真空プロセスにおける静電チャックやヒートシンク等にも使用される窒化アルミニウム。
しかし脱粒を生じやすく脱粒を起こさないよう平滑化するのは容易ではありません。今回はAlmet定盤を使用し脱粒を生じさせず、AlN基板をラッピングする加工事例をご紹介いたします。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。