PLAZMARK ウエハ型メタルフリータイプ先行サンプル登場

半導体前工程分野のお客様待望・クリーンプロセス対応の新商品！

当社は、プラズマインジケータ『PLAZMARKウエハ型 メタルフリータイプ』を
開発、先行サンプル提供を開始します。

当製品は、販売中のウエハ型セラミックタイプに比べ、金属元素を使用しない
設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。

表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、
基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し
クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。

【特長】
■金属元素を使用しない設計
■表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用
■8インチと12インチのサイズをご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。