樹脂用蒸着装置

『大型樹脂基板用蒸着装置』は、自動車の外装品の大型樹脂成形品への
薄膜形成を目的とした大型蒸着装置です。

複数の電子銃蒸発源を装備し、Al、Cu、Niなどの金属膜を長さ1mの
大型樹脂基板へ低温での高速成膜が可能。

自動車部品だけでなく電子機器への電磁波シールドにも実績を持っており、
大型チャンバ（φ2000）、電子銃蒸発源、大型排気系の組合せにより
大量バッチ処理による高品質装飾膜や電磁波シールド膜の生産に好適です。

【特長】
■各種金属膜の低温形成（70℃以下）
■短時間バッチ処理
■RFボンバードによる樹脂基板への膜の高い密着性
■各種薄膜・厚膜・多層膜の形成（Cu／Ni　Cu1μmNi0.25μm　積層）
■不連続膜の安定した成膜　
■カスタム化対応にて長尺基板（最大1750mm）への全面成膜が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『高速バッチ型樹脂用蒸着装置』は、自動車部品（外装品）など
樹脂成形品の蒸着加工に特化した専用蒸着装置です。

大口径の排気系とコンパクトなチャンバによる高速バッチ処理を実現。
シンプルな装置構成と高速バッチ処理で量産ラインの生産性の向上を図ります。

オールドライ排気系の採用と前扉型の装置形状によって
排気系のメンテフリー化とシステムのメンテナンス性にも優れており
高い稼働率を実現しています。

【特長】
■樹脂基板への高速バッチ処理
■安定した成膜性能と高速排気性能
■オールドライ排気系による排気系メンテナンスフリー化
■コンパクトな装置規模による高生産性

※詳しくはPDF資料をご覧ください。
※その他、仕様詳細やサンプルテストなどにつきましてはお問い合わせください。
 （詳細を見る）

１ⅿ以上の長尺樹脂成形品の全面成膜に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。
水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定した全自動成膜を実現。
高い安定性を備えた全自動蒸着装置。 （詳細を見る）