UFシリーズヒーター

漏洩の可能性を削減する二重構造液路！高速応答を実現する薬液ヒーターをご紹介

『UFシリーズヒーター』は、応答時間が速く、高精度のプロセス制御を
実現する超純度フレキシブル薬液ヒーターです。

特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも
設置することが可能。

また、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させた
ことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが
できます。

【特長】
■特許取得済加熱技術
■トップレベルの応答時間
■高純度液路
■窒素パージ不要
■液気対応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。