株式会社システムロード
最終更新日：2022-11-09 14:22:54.0
非接触膜厚測定システム『FF8』
基本情報非接触膜厚測定システム『FF8』
カスタム仕様等も対応可能！インラインの膜厚測定としても使用できる非接触膜厚測定システム
『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、FFT(高速フーリエ変換)等に
よって膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。
膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行えます。
オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・
色測定・成分濃度解析も可能です。
また、連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、
インラインの膜厚測定としてもご使用頂けます。
【特長】
■FFT等によって膜厚値の解析を行う
■フィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も可能
■連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能
■インラインの膜厚測定としても使用できる
■カスタム仕様等の対応も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【カスタム仕様等の対応可能】非接触膜厚測定システム『FF8』
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、FFT（高速フーリエ
変換）等によって膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。
膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、
オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・
色測定・成分濃度解析も可能です。
連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、
インライン膜厚測定としてもご使用頂けます。
【特長】
■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う
■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える
■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能
■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける
■カスタム仕様等の対応も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
【カスタム仕様等の対応可能】非接触膜厚計『FF8』
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、FFT（高速フーリエ
変換）等によって膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。
膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、
オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・
色測定・成分濃度解析も可能です。
連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、
インライン膜厚測定としてもご使用頂けます。
【特長】
■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う
■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える
■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能
■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける
■カスタム仕様等の対応も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
非接触膜厚計『FF8』※カスタム仕様等の対応可能！
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、
膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、
カーブフィット膜厚計等によって
膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。
膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、
オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・
色測定・成分濃度解析も可能です。
【標準測定】
測定範囲（分解能） 対応仕様例
0.0010～100μｍ 薄膜＋薄膜解析仕様
0.0100～100μm 標準＋薄膜解析仕様
0.5000～500μm 標準仕様
1.000 ～500μm 圧膜1仕様
4.000 ～2000μm 圧膜2仕様
※その他、各種測定範囲にオプションで対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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水中での膜厚測定されたい方必見！水中膜厚計『FF8』
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、
膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、
カーブフィット膜厚計等によって
膜厚値の解析を行う非接触水中膜厚計です。
膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、
オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・
色測定・成分濃度解析も可能です。
空気中と水中でSi基板上のSiO2膜（シリコン酸化膜）を測定でき、
薄膜解析オプションによりカーブフィット法による測定が可能です。
【特長】
■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う
■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える
■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能
■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける
■カスタム仕様等の対応も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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1ライン３CH設置や、工程前後に測定が可能！多ポイント膜厚測定
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、
膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、
カーブフィット膜厚計等によって
膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。
膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、
オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・
色測定・成分濃度解析も可能です。
オプションにて膜の厚みの差やムラ等の測定・解析を
効率的に行えるように、自動XYステージを使用して
自動マッピング測定が可能です。（マッピング膜測定）
【特長】
■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う
■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える
■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能
■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける
■カスタム仕様等の対応も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
（詳細を見る）
顕微鏡膜測定や非透過サンプル膜厚測定も可能！非接触膜厚計
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、
膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、
カーブフィット膜厚計等によって
膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。
膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、
オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・
色測定・成分濃度解析も可能です。
オプションでは、顕微鏡膜測定や非透過サンプル膜厚測定も可能です。
顕微鏡膜測定では、カラーフィルターのRGBパターンや基板上の配線パターン等、
マクロでは測定が困難な微細領域の膜厚測定を行えるように、
顕微鏡を使用して測定スポットサイズを小さくし測定できるようにします。
非透過サンプル測定では、空気層の厚みを測定することで
非透過サンプルの厚みを測定、演算します。
通常、光の干渉を用いる測定方式では、
非透過サンプルの膜厚測定はできませんが、
本測定方式を用いることで測定が可能となります。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 非接触膜厚測定システム『FF8』
光学分析機器の設計・製作 半導体関連機器の設計・製作 研究開発機器の設計・製作 電子計測機器の設計・製作 検査機器及び治工具の設計・製作 カスタム仕様システムの設計・製作 ソフトウエアの設計・製作
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