卓上ホットプレート 250℃/350℃仕様モデル標準化後

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。

特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、
温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、
ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。

タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。
ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。

標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。
また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも
ご利用いただけます。

【特長】
■高精度な面内温度均一性。
■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。
■3～8インチに対応。
■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。
■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。
■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

空調機にとって心臓部となる圧縮機は、装置稼働後10年を超えると故障率が上がります。
また、旧世代装置の部品の多くは、既に生産中止となっているため、修理に多大な費用が発生します。さらに、稼働を再開するまで、長期のダウンタイムが発生。

これらの問題を、事前の新モデル入れ替えで解消！
安定した生産を維持していくため、新世代空調機への入れ替えは欠かせません。

【特長】
▶ 部品調達や修理が困難な空調ユニットの代替に最適。
▶ 老朽化によるMTBF（平均故障間隔）の悪化や、
メンテナンスコストの増大を一気に解消。
▶ 特定フロンや指定フロンを使用している空調ユニットを、
オゾン層破壊係数「ゼロ」の代替フロン使用の空調ユニットに入れ替え、
環境の保護に貢献。
▶ 冷媒機にインバーター圧縮機を採用し、省エネ化を実現。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）