CVDイットリア　カタログ

基本情報CVDイットリア　カタログ

CVDイットリア　カタログ

「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。
密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス（F系、Cl系）
で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。

「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。
密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス（F系、Cl系）
で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。（詳細を見る）

○半導体製造装置用製品　[反応管、キャリアボート、ベルジャー、石英リング、シリコン電極] ○理化学機器用製品　[石英ガラスセル、G・Lクロマトグラフィー用製品、テドラーバッグ] ○その他　[半導体製造用加熱機器（ヒーター）]

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