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最終更新日:2010/09/06

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CVDイットリア カタログ

基本情報CVDイットリア カタログ

CVDイットリア カタログ

「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。
密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス(F系、Cl系)
で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。

耐プラズマ表面処理 CVDイットリア

耐プラズマ表面処理 CVDイットリア 製品画像

「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。
密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス(F系、Cl系)
で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。 (詳細を見る

取扱会社 CVDイットリア カタログ

テクノクオーツ株式会社

○半導体製造装置用製品 [反応管、キャリアボート、ベルジャー、石英リング、 シリコン電極] ○理化学機器用製品 [石英ガラスセル、G・Lクロマトグラフィー用製品、テドラーバッグ] ○その他 [半導体製造用加熱機器(ヒーター)]

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