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最終更新日:2019-12-12 10:59:16.0

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書籍:プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例-

基本情報書籍:プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例

■「所望の薄膜」を形成するプラズマCVDプロセスの確立に向けて■

著者
大阪市立大学 白藤 立氏
松田 彰久氏
東京都市大学 市川 幸美氏
京都工芸繊維大学 林 康明氏
東北大学 加藤 俊顕氏
同 鈴木 弘郎氏
同 金子 俊郎氏
佐世保工業高等専門学校 篠原 正典氏
同 猪原 武士氏
同 柳生 義人氏
同 大島 多美子氏
同 川崎 仁晴氏
(国研)産業技術総合研究所 山田 英明氏
茨城大学 尾関 和秀氏
同 山内 智氏
大陽日酸(株) 高 洋志氏
SPPテクノロジーズ(株) 村上 彰一氏
(株)島津製作所 東 和文氏
(株)日本製鋼所 寅丸 雅光氏
近畿大学 牟田 浩司氏
広島県立総合技術研究所 小島 洋治氏
広島大学 島田 学氏
同 久保 優氏

目次
第1章 目的に応じた成膜方式の選定
第2章 適切に制御するための「物理的側面」の理解
第3章 適切に制御するための「化学的側面」の理解
第4章 最終的な膜構造に直結する表面反応の機構
第5章 成膜条件の最適化において考慮すべき条件
第6章 成膜プロセス最適化への影響因子および成膜事例

書籍:プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構理解

書籍:プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構理解 製品画像

電気回路、電磁気学、放電工学、流体力学、化学工学、表面科学…
様々な学問体系が絡み合う、複雑なプラズマCVDを「使いこなしたい!」と願う技術者・研究者へ

○「こういう膜質にしたい」という要望はあるものの、取るべき手段やその理由がわからない人に
○「この数値が関係しそうだ」と予想はつくが、実際にはどうしたらいいかわからない人にも
○ または、自社装置だけでなく「こうしたらいいですよ」と成膜方法も提案できるようになるためにも

★1~4章末の「豆知識」は知らない用語の意味&より理解を深める情報を参照・確認するために、ご活用ください★
▼ 本書の一部内容をご紹介 ▼

■プラズマCVD成膜の"ナカミ"を理解する ~基礎的な理論と成膜事例を通じて仕組みを理解する~

■成膜条件の最適化を少しでも効率よく行うためには ~基本的な考え方や手順を解説~

■もっと実務・実用に近い系で学ぶ!成膜プロセス最適化へ向けた取り組み事例 (詳細を見る

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■クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育
■微粒子の触媒活性・表面処理と粉体への機能性ナノコーティング
■無電解めっき技術
■“新”光学レンズ技術
■未利用工場排熱の有効活用技術と実用展開
■ミスのない難局打開の“造粒技術”~トラブル事例と解決策による造粒の技能伝承~
■懸濁重合における粒子径制御・均一化と不具合対策・機能性粒子調製技術 (詳細を見る

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