プレシテック・ジャパン株式会社
最終更新日：2022-03-30 19:01:58.0
【資料】Precitecプレゼン半導体向け測定例
基本情報【資料】Precitecプレゼン半導体向け測定例
【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、表面粗さ、平坦度、TTV、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元、ラインセンサ、ラインスキャン、エリアスキャン、全面、小型、コンパクト、安い、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ダイシング溝、フリップチップ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単
【資料】非接触厚み及び形状計測センサー
当資料は、非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています。
「CHROMATIC VISION CAMERAの原理」をはじめ、「測定例」や
「CHRocodileの特長と優位性」などについてご紹介。
ぜひ、ご一読ください。
【掲載内容(抜粋)】
■白色光センサー
■CHRocodile C
■干渉センサー
■CHROMATIC VISION CAMERA
■FLYING SPOT SCANNER
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
プレシテック社 非接触センサメーカーのご紹介
プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、
ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。
幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。
半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。
また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。
【アプリケーション】
ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム、コーティング厚み測定、
ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状、
マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、
バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど
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取扱会社 【資料】Precitecプレゼン半導体向け測定例
■レーザ加工関連 - 加工ヘッド - 溶接ヘッド - プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2S/2SE：高精度 2HS：ハイパワー - デュアルポイント 2DPS - 廉価版シングルポイント C：プローブと一体 Mini：プローブと別体 - ラインセンサ CLS：低クロストークノイズ CLS2.0：長いライン長・広測定範囲 CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高 ・分光干渉CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2IT：高精度 2DW：ドープウエハ対応 2RW：粗ウエハ対応 2SX：加工モニタリング用広測定範囲 ・分光干渉センサ用エリアスキャナ Flying Spot Scanner：Φ40～310mm ＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定
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