メカニカルブースタポンプ

後段の真空ポンプ（ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ）と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1～2桁低くできます。

●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。

●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。

●排気口の向きを下側／横側から選択できます。
　
●真空ポンプの能力が落ちる到達圧力付近の排気速度をカバーできます。

●真空スイッチ（圧力スイッチ）も付属できます。 （詳細を見る）

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。
長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。
乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！ （詳細を見る）

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。
ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。
主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。
特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。
Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。
主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システム （詳細を見る）