株式会社ＭＴＫ
最終更新日：2020-03-05 18:45:10.0
オゾン水生成機器（英文）
基本情報オゾン水生成機器（英文）
※詳細はダウンロードよりご確認ください※
低価格Ｗｅｔ処理装置
～高性能はいいな。でも、手が届かないと思っている方へ～
ＭＴＫのＷｅｔ処理装置は、わずかな隙間でも設置できるコンパクト設計でありながら、わずかな薬液・純水で洗浄できる高性能な洗浄装置です。
【特徴】
・パーティクル数が極めて少ない（ウエハ表面上）
・純水・薬液の使用量が少ない
※純水…0.5 リッタ（１枚当り）、薬液…20 リッタ（１日当り）
・コンパクトな装置サイズ
〈処理本体〉
幅1100mm/ 奥行800mm/ 高さ1900mm
〈薬液供給本体〉
幅500mm/ 奥行800mm/ 高さ1800mm
・驚きの低価格
～詳細はカタログダウンロードもしくはお問い合わせください～ （詳細を見る）
取扱会社 オゾン水生成機器（英文）
【半導体洗浄装置】 ●Si、SiC、GaN、GaAsなどのWet処理装置の製造・販売 ●メタルフリーなオゾン水生成機器の製造・販売 【半導体材料】 ●6インチSiCウエハ（各種膜付、角基板も提供可能）、6インチSiCインゴットの販売 ●GaNウエハの販売(角基板も提供可能)
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