低抵抗率小型マッピングシステム

当製品は、試料形状に影響されずに表面抵抗率（Ω／□）、
体積抵抗率（Ω･cm）を精密測定できます。

導電性フィルムや金属・ITO薄膜などの膜厚・組成バラつきが
一目瞭然で、300mm□までの試料のマッピングや複数枚試料の
連続測定も可能となっております。

【特長】
■ロレスタGXと接続し、10-4から10+7Ωレンジまで測定可能
■測定、演算、データ処理、3次元グラフ出力までを完全自動化
■試料サイズは300mmまで、複数枚試料の測定も可能
■測定位置設定は、格子入力、ライン入力、逐次入力の3通りに加えて、
　外部からの座標データインポートも可能
■測定結果が指定範囲を外れた測定点を画面上でマーキングする
　コンパレータ機能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）