神港精機株式会社東京支店
最終更新日：2020-06-04 13:38:43.0
ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
基本情報ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
ケミカルプロセスに実績豊富な真空ポンプユニットをＣＶＤ用途にカスタマイズ。塩素系ガスの排気にも対応。信頼と実績の真空排気装置
高耐食性のオールステンレス製水封式真空ポンプと堅牢なメカニカルブースタの組み合わせの真空ポンプユニット。
水封式真空ポンプを封液循環タイプとし、封液にアルカリ溶液を使用する事によって吸引する酸性ガスを中和、後段のガス処理設備の負担を大きく軽減。
減圧ＣＶＤ装置の成膜用排気系として多くの実績を持ち、豊富なオプション類の追加装備によってより多くの幅広い要求に対応いたします。
ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。
ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。
主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。
特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。
Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。
主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システム （詳細を見る）
取扱会社 ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
