巴工業株式会社機能材料部
最終更新日：2020-08-25 13:43:01.0
機能材料『CVD-SiC』
機能材料『CVD-SiC』
『CVD-SiC』は、CVD法（気相成長法）で製造したバルクSiCです。
高純度、耐食性に優れ、半導体製造装置部品として高い性能を発揮。
長寿命で、SiCコート品におけるピンホール、剥離の問題が発生しません。
また、プロセスによって適したグレードを選択できます。
【特長】
■高純度・優れた耐食性
■長寿命
■低抵抗、高抵抗グレード
■プロセスによって好適なグレードを選択可能
■SiCコート品におけるピンホール、剥離の問題が発生しない
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 機能材料『CVD-SiC』
【取扱品目】 ■セラミックス原料・製品 ■ナノテクノロジー関連製品 ■金属材料 ■装置 ■炭素・黒鉛製品 ■ZIRCAR社(断熱材・耐火ボード・高機能材料品) ■実装関連商品
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