マスフロー制御ユニット『MSU101』

『MSU101』は、1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフロー
コントローラをプログラムコントロールできます。

堀場エステック社製マスフローコントローラ（MFC）をコントロールし、
最大で6台まで同時に制御することが可能。

電源内蔵なので別電源を用意する必要がありません。
また、デジタルタイプとアナログ/デジタル共用タイプの2種類の
制御ユニットがあります。

【特長】
■1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフローコントローラを
　プログラムコントロールできる
■お望みの混合ガスを手軽に生成できる
■最大で6台まで同時に制御可能
■電源内蔵なので別電源を用意する必要がない
■デジタルタイプとアナログ/デジタル共用タイプの2種類の制御ユニットをご用意

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