EPMAによる微量元素の検出

EPMA分析は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析や
マップ分析等に優れています。

パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生した例では、腐食原因物質の
特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。

EPMAでは分解能、検出下限、P/B（ピークバックグラウンド）比が、EDXより
優れているため、微量のCl分布が明瞭に把握することができました。

【装置仕様】
■日本電子（株）製 Jeol-8200
■分析方式：波長分散型X線分析（WDX）
■分析可能元素：B～U
■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV）
■検出限界：0.01％～
■最?試料寸法：100×100mm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度についてご紹介します。

一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっき表面を分析した際、下層のNiが
露出していないにも関わらず検出される場合があります。

これは電子線の散乱深さに関連性があり、正しい分析結果を得るには適切な
加速条件を設定する必要があります。

今回、モンテカルロシミュレーションを用いて加速電圧の違いによる
EDX検出深さについて確認を実施。

今回はほんの一例に過ぎませんが、正しい分析結果を得るには電子が
どのように散乱しているか想像しながら加速電圧を設定することが大切です。

【テスト基板概要】
■試料は一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっきパッドを用いた
■層構成はCu配線上にNiめっき/Auめっきが施されたもの
■Auめっきの厚みは断面観察より、212nm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

EPMAには、7つの分光結晶があり、目的とする元素の波長に合わせて分光器を
選択することで、エネルギー分解能や検出感度が良く、微量成分の定量分析や
マップ分析等で優れた結果を得ることが出来ます。

当資料では、"波長分散型X線分光器（WDS）の測定原理"をはじめ、
"22Tiの測定例"などを図を用いて詳しく掲載。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■波長分散型X線分光器（WDS）
■測定例 22Ti

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

EPMAは、EDXと比較すると検出分解能が優れています。

EDXでは元素の検出位置が近く、ピーク分離が困難な場合であっても、
EPMAであればピーク分離が可能な場合があります。

当資料では、22Tiと56Baのピーク分離についてご紹介。
積層セラミックコンデンサの分析例や、チタン酸バリウム（BaTiO3）の
X線スペクトルを掲載しています。

【掲載内容】
■22Tiと56Baのピーク分離
・分析例 積層セラミックコンデンサ
・チタン酸バリウム（BaTiO3）のX線スペクトル

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

EPMAはEDXと比較すると検出分解能が優れています。

EDXでは元素の検出位置が近く、ピーク分離が困難な場合であっても、
EPMAであればピーク分離が可能な場合があります。

当資料は、47Agと17Clのピーク分離についてご紹介。
チップ抵抗器の断面観察や、47AgのX線スペクトル、マッピング比較
などを掲載しております。

【掲載内容】
■47Agと17Clのピーク分離
■47AgのX線スペクトル
■マッピング比較

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

EPMAは特長の一つに、ガイドネットマップ法があります。

SEM-EDXでは測定範囲が狭く、湾曲試料では面分析が正しく測定できないことが
ありますが、EPMAのガイドネットマップ法を用いることで、広範囲の分析が
可能になります。

隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、⼀括して表示するための手法で、
高低差が不均一な面に対して測定を行ったり、大きな面の測定を行うときに使用します。

【ガイドネットマップ法の特長】
■隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、
　⼀括して表示するための手法
■高低差が不均⼀な面に対して測定を行ったり、
　大きな面の測定を行うときに使用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）