A-Tech System Co., Ltd.
最終更新日:2020-12-17 17:06:35.0
乾燥・焼成制御システム『フォトマスク・リペア装置』
乾燥・焼成制御システム『フォトマスク・リペア装置』
『フォトマスク・リペア装置』は、黒欠陥をレーザー加工による修正及び
白欠陥に修正材料塗布による修正を目的とした乾燥・焼成制御システムです。
前工程の検査装置の座標位置のデータを受信し、欠陥座標位置に近い所に
移動。最小修正線幅は5umとなっています。
この他にも、先進のプリント基板用の「PCBレーザーリペア装置」も
取り扱っています。
【特長】
■前工程の検査装置の座標位置のデータを受信
■欠陥座標位置に近い所に移動している
■レーザーシステム:Nd YAGレーザー(1064nm、532nm、266nm 選択よる)
■X/Y/Z 3軸独立モーターシステム駆動
■最小修正線幅5um
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取扱会社 乾燥・焼成制御システム『フォトマスク・リペア装置』
■自動化制御のソフトウェアとハードウェア技術の研究開発 ■ハードウェアモジュールシステムの開発 ■機械及び電気システムの統合と応用 ■半導体とタッチパネルの測定試験 ■レーザーカッティングとリペアの発展
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