ヤマト産業株式会社
最終更新日：2021-06-03 15:46:22.0
半導体用圧力調整器『ER-1HL』
半導体用圧力調整器『ER-1HL・ER-1LL』
『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。
製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を
満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」
「全数 He リークテスト」を実施しています。
Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。
【ER-1HL 仕様（抜粋）】
■一次測圧力（MPa）：2～15
■二次側使用圧力（MPa）：0.1～0.99
■使用温度（℃）：-5～40（設計温度-10～75℃）
■口径：1/4
■重量（kg）：1.3
■内臓フィルター濾過度：5μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 半導体用圧力調整器『ER-1HL』
【営業品目】 ○高圧ガス大臣認定減圧弁・バルブ・ストレーナ ○特殊ガス・標準ガス圧力調整器 ○医療用ガス圧力調整器 ○溶断用圧力調整器 ○ガス供給設備プラント設計・施工 ○ガス集合装置 ○液化ガス気化装置 ○ガス切断器 ○安全器 ○各種圧力計
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