環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA

研究室で最大0.1気圧環境下のオペランド測定が可能

　EnviroESCAは試料を準大気圧（最大0.1気圧）環境下で測定し、従来のような超高真空環境を必要としません。液体・含水性試料はもちろん、揮発試料や激しく脱ガスする多孔質な試料でも、EnviroESCAの試料室に投入後、僅か数分後には測定を開始します。従来型XPSでは測定を諦めていた試料を分析できるだけでなく、雰囲気ガスや温度を自由に制御して新しい研究分野を開拓する強力な武器となります。現在急速に注目を集めている、デバイス動作環境下での測定、いわゆる“オペランド測定”も簡単に実現できます。超高真空環境を必要としないEnviroESCAであれば、短時間に多量の検査を必要とする生産ラインでの品質検査でも効率的に運用可能です。ロボット・オートローダーを使用して、無人で試料導入から測定までをバッチ処理することもできます。 X線光電子分光＝超高真空環境下の既成概念を払拭するEnviroESCAは、新奇の研究開発を牽引し、さらにX線光電子分光法に医療・バイオ・ライフサイエンスなど全く新しい活用の場を提供する装置です。