ウェハボンディングマシン『EBM-250HSC』製品資料

Trinity-Yシリーズ『HVG-300DSO』は、加工軸を2軸備えた機構により、
1つのワークテーブル上で粗研削・精密研削を行うことができる研削盤です。

ワークの取り付けが1度で済むため、着脱時の誤差が生じず、
安定した平坦度・TTVを得ることが可能。

オプションの厚さ測定では、 加工中のウェーハの実際の厚みをリアルタイムで測定し 、 研削後のエンドポイントを正確に検出できます 。

【オプション】
■オートドレス機構
■厚み測定システム（接触・非接触タイプから選択可）

※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。
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