日本ブッシュ株式会社
最終更新日：2021-04-08 16:04:48.0
【導入事例】運用コスト40%ダウン!ウエハーのハンドリングに高効率ドライ真空技術
基本情報【導入事例】運用コスト40%ダウン!ウエハーのハンドリングに高効率ドライ真空技術
【導入事例】ウエハーハンドリングに高効率の真空技術を導入し、運用コストを40%削減した事例です
≪掲載内容≫
ドイツフランクフルトの研究機関IHPでは、ビジネスとしての可能性を重視した実験を日々行っています。クリーンルームでのウエハー試作に、最新のドライ真空技術を活用することで、運用コストを大幅に削減することに成功しました。
＊詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空ポンプ『総合カタログ』
Buschの総合カタログ最新版が完成！
各種真空メカニズムの図解入り。真空ポンプ図鑑としてお役立てください。
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スクリュー真空ポンプ COBRA Industry ファミリー
【製品説明】
中真空および粗引きに適した堅牢で高い信頼性の真空ソリューション。多様な仕様を展開し、更に要件に合わせた調整が可能です。
【特長】
■ 堅牢：プロセスガス経路を最適化。液体や粉体のキャリーオーバーが可能
■ 耐食：シリンダーの温度分布を均一に保つ設計で耐食性が向上
■ 高効率：特許取得の「セルフバランシングスクリュー」で高効率化
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 【導入事例】運用コスト40%ダウン!ウエハーのハンドリングに高効率ドライ真空技術
●ドライ真空ポンプ ●油回転真空ポンプ ●真空計 ●リークディテクター ●ガス除害装置 ●集塵機 ●真空システム設計、製造 ●サービス ●フィールドサービス ●修理、メンテナンス ●その他真空関連コンサルティング
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