カタログ発行日：20210101

エアベアリング平面スキャナーステージ A-311

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基本情報エアベアリング平面スキャナーステージ A-311

ハイパフォーマンス＆コンパクト　エアベアリングXY軸ナノポジショニングシステム

A311は、エアーベアリング方式により、一般的なメカニカルベアリングのような機械誤差の影響を受けない、高精度駆動XY軸ステージです。
　ピッチング、ヨーイング、直進性、平坦度など駆動精度が違います！
＜簡易仕様＞
・トラレベルレンジ：50、100、150、200、300mmのXY軸
・リニアモータ駆動
・アブソリュートエンコーダー or インクリメンタルエンコーダー
・耐荷重：147N

XY軸エアベアリングステージ A-311型

エアベアリングを備えた高精度XY平面スキャナーはフラットなデザインで積み重ねられたXYステージ。
効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約可能。

・スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・移動範囲は300mm×300mm
・147Nまでの耐荷重
・1nmまでの解像度

※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。（詳細を見る）

取扱会社エアベアリング平面スキャナーステージ A-311

ピーアイ・ジャパン株式会社本社

リニアモータステージ・エアベアリングステージ・ピエゾステージ・ボイスコイルステージ　計測システム器具及び装置の製造と販売

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