株式会社キッツエスシーティー
最終更新日：2021-06-09 15:27:11.0
半導体製造装置 排気系ラインの省スペース化『事例集』15
基本情報半導体製造装置 排気系ラインの省スペース化『事例集』
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180°）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！
お困りではありませんか？ 除害装置前段での副生成物対策
・⾼コンダクタンスの配管部材はどうして良いの？
・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！
・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？
『事例』半導体製造装置 排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中
"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。
KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。
ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
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取扱会社 半導体製造装置 排気系ラインの省スペース化『事例集』
・半導体製造装置および周辺機器用配管部材、ガスパネル、ユニット類の 開発製造および販売。 ・各種超高純度流体用配管部材およびユニット類の開発製造および販売。 ・上記項目に付帯する一切の業務。
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