B4C用ルブリカント

B4C用のルブリカントは、高品質な水溶性ルブリカントで、主にサファイア両面加工工程向け、B4C研磨スラリー配合用に開発された製品です。潤滑性と冷却性が高く、研削効果に優れ、ワークの加工効率を高めることで、コストダウンが期待できます。

特徴
◆専用のルブリカント配合で研磨効率に優れる。
◆循環使用回数を増加させる。
◆破片率を低下させ、もっと良いTTVを得られる。
◆冷却性と潤滑効果に優れる。
◆砥粒の分散性が良く、沈降しにくい。

用途
◆SiCウェハー研磨
◆セラミック基板
◆サファイア・LED材料