超高純度CVD SIC (HPSC)

基本情報超高純度CVD SIC (HPSC)

純度 99.9995%　半導体の最先端エピテキシャル工程、エッチング工程に!!

酸化雰囲気、腐食ガス雰囲気中でも使用でき、耐摩耗性・高熱伝導率・低熱膨張率・耐薬品性を備えたマテリアルです。

用途例
エピテキシャル成長装置：サセプターカバーリング
エッチング装置：エッジリング
MOCVD装置：サセプタ、ヒーター、ダミーウエハ
RTP/CVD装置：エッジリング・フォーカスリング

＊半導体、LCD製造装置、コンポーネント、部品の輸出入、及び販売＊産業用機器（ワイヤーベンダー、スプリング・フォーミング・マシン）、部品、ロボットの輸出入、及び販売＊電子部品、石英ガラス加工品、UVランプ、ハロゲンランプの輸出入、及び販売

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