TCR-SWIT 技術情報・導入事例

半導体製造用クリーンルームは超微細な精密加工を高い歩留まりで実現するために、温度・湿度・清浄度(微粒子、ガス状汚染物質)を高精度かつ安定的に制御することが必要です。
TCR-SWITは、冷気は下降し暖気は上昇する原理を利用した旋回流誘引型の成層空調システムSWITの技術を、クリーンルームの製造環境（温度管理・清浄度管理）へ応用した空調システムです。


特許第5361140号、特許第6636859号、特許第6878552号、特許第6909850号、特開2020-056570号、特開2020-106230、特開2020-106231号　他
導入実績：33件 (2021年8月時点）

【特長】
・一般的な混合空調方式クリーンルームの清浄度レベルを維持しながら消費エネルギーの削減が可能
・クラス1,000(＠0.1μm)／ISO:クラス5のクリーンルームで清浄度の維持を確認
・混合空調方式クリーンルームに比べ、空調設備(搬送、熱源)の消費エネルギー・導入コストの大幅な削減が可能

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