技術資料「真空薄膜形成と装置」

技術資料「真空薄膜形成と装置」

この資料は、真空薄膜形成装置を利用して薄膜を作製する方々を対象に、

　■真空とはどのようなものか
　■真空を利用した薄膜形成技術にはどのようなものがあるのか
　■薄膜とはどのようなものか
　■薄膜形成に用いる装置はどのようなものか
　■真空装置を使用するにあたって注意すること
　■日常のメンテナンスについて　等

真空薄膜形成をする上での基本事項が書かれています。
この資料をお読みいただき、真空薄膜形成装置の性能を
最大限に活用していただければ幸いです。
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※シンクロンの真空薄膜形成装置ラインナップについては
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