【資料】光学顕微鏡とSEMの使い分け

試料の観察には光学顕微鏡とSEM（走査電子顕微鏡）がよく用いられますが、
それぞれ特長があるので目的に応じた装置を選択する事が大切です。

当資料では、光学顕微鏡とSEMを同じサンプルで比較し一般的に言われている
メリット、デメリットをご紹介。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■光学顕微鏡の特長
・メリット／デメリット
・こんな観察にお勧め
■SEM（走査電子顕微鏡）の特長
・メリット／デメリット
・こんな観察にお勧め

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

アイテスでは電子部品、実装基板、半導体、化合物半導体、パワーデバイス、
フィルム、樹脂成形品、太陽パネル、液晶ガラスなど
さまざまな部品・材料の断面を受託加工作製します。

また作製した断面の観察や分析を行い、不良解析や出来栄え評価などを
受託分析いたします。

【サービス一覧】
■機械研磨
■CP加工
■ミクロトーム
■FIB加工
■半導体拡散層の解析　など

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長期の使用により破損したカニカンの破断面について、SEMによる観察を
行いましたので紹介致します。

破断面端では、塑性変形の跡(ディンプル)が見られ、引っ張られて
破断したことが推測されました。

破断面中央付近は、様子が異なり、ディンプルは僅かに見られる程度で、
引っ張られて破断した様子はほぼ見られず、中央付近ではすでに空隙が
存在していたのではないかと推測できました。

他にも多種の観察が可能ですので、まずはお気軽にお問い合わせ下さい。

【破断面観察概要】
■破断面端
・塑性変形の跡(ディンプル)が見られた
■破断面中央付近
・引っ張られて破断した様子はほぼ見られなかった
・すでに空隙が存在していたのではないかと推測できた

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検査員の目視だけでは、見逃す形状を鮮明に観察することによって、
不具合を的確に把握することができます。

広範囲の一括観察や部分拡大も可能、様々な観察に対応いたします。

また、IPC-A-610 認証IPCスペシャリストが在籍しており、国際規格に
則って観察のお手伝い、ご相談、様々な観察のお悩みに対応できます。

【特長】
■広範囲の一括観察や部分拡大も可能
■様々な観察に対応
■全面観察後、箇所に関係なく鮮明な拡大観察が可能
■予定外箇所の追加観察も容易
■IPC-A-610 認証IPCスペシャリストが在籍

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SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度についてご紹介します。

一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっき表面を分析した際、下層のNiが
露出していないにも関わらず検出される場合があります。

これは電子線の散乱深さに関連性があり、正しい分析結果を得るには適切な
加速条件を設定する必要があります。

今回、モンテカルロシミュレーションを用いて加速電圧の違いによる
EDX検出深さについて確認を実施。

今回はほんの一例に過ぎませんが、正しい分析結果を得るには電子が
どのように散乱しているか想像しながら加速電圧を設定することが大切です。

【テスト基板概要】
■試料は一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっきパッドを用いた
■層構成はCu配線上にNiめっき/Auめっきが施されたもの
■Auめっきの厚みは断面観察より、212nm

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SEM観察は、試料表面に照射した電子が試料の極表層で散乱することで
発生する二次電子や反射電子を検出器で捉え、像としてモニターに
映し出しています。

電子を捉える検出器には種類があり、それぞれの特長を生かした像が
得られ、加速電圧を変えることで見え方も変わります。

当資料では、各種条件下で撮影したSEM像をご紹介。
ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■反射電子像
・高加速電圧による反射電子像(AsB検出器)
・低加速電圧による反射電子像(EsB検出器)
■二次電子像
・加速電圧による見え方の違い
・検出器の位置による見え方の違い

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解析手法の基本的で応用範囲が広い光学顕微鏡観察からSEM観察、
EDX元素分析までの流れをご紹介致します。

光学顕微鏡による観察は基本的な観察手法の一つであり、大まかな
形状観察等を素早く行えます。また、特長は色情報が得られる事で、
腐食等の変食を伴う異常の観察に活躍。

当資料では、この他にも「SEMによる観察」や「EDXによる元素分析」を
写真やグラフを用いて詳しく解説しております。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■光学顕微鏡による観察
■SEMによる観察
■EDXによる元素分析

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