『試作エッチング装置』は、曲線を描いたガルウィング式の蓋を採用した
製品です。
目的は2点あり、開口面積が広くメンテナンス性に優れている、中蓋が
折り返し式で尚且つ内側に畳込むように収納できる為、内蓋に付着した
薬液が装置外に漏れる可能性が少ないという点にあります。
また、スクエア状であったオシレーションフレームを無くした事により、
ノズル両端のオシレーションフレームに直接ノズル管を付け、ノズル交換等の
メンテナンス性が向上しております。
【ライン構成】
■投入
■エッチング
■水洗4段
■液切り
■受取
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